中山大学电子与信息工程学院
发布日期：2021-01-16
发布人： 原创
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中山大学电子与信息工程学院
中山大学电子与信息工程集成电路封装测试实验室，项目面积1400m2，包含ISO5级（百级）和ISO6（千级）洁净室；
空调风系统均采用MAU（组合式新风机组）+FFU（高效送风单元）+DCC（干盘管）系统，新风经过MAU处理后进入上夹层，和经过DCC冷却的回风混合后送入室内，ISO6级洁净室气流组织为顶送侧下回，ISO5级气流组织为垂直单向流（面风速设计≤0.25m/s）；
洁净室空调冷热源供应设计风冷螺杆式冷水机组和风冷螺杆式热泵机组。
